IEST-STD-CC1246D

제품 청결도 및 오염 제어

이 방법의 가장 일반적인 적용 방법 중 하나는 다양한 위치에 남겨진 증인 플레이트 (일반적으로 작은 웨이퍼)를 보면서 청정실 및 기타 제어 환경의 공기 청정도를 분류하는 것입니다. 이미지 분석은 IEST-STD-CC1246D와 관련하여 광학 현미경을 사용하여 표면의 입자를 탐지하고 표준에 정의 된 한계의 함수로 데이터를보고하는 것과 관련이 있습니다. Clemex PSFilter는 한 번에 하나의 샘플 또는 두 개의 샘플을 볼 때 IEST-STD-CC1246D의 요구 사항을 준수하는 표준 테스트 방법과 보고서 템플릿을 포함합니다.